2000-01-28
◆＜星＞ＥＴＩ、低コスト／高品質な超純水供給
【シンガポール】シンガポールの半導体産業は、Environmental Technology Institute (ETI)が200万Ｓドルを投じてその敷地内に設けた超純水(UPW)のパイロット・プラントにより、低コストなＵＰＷを手に入れることができそうだ。
  国家科学技術局(NSTB)のTeo Ming Kian会長が新プラントの開所式の席上語ったところによると、現在国内で操業するウハー・ファブ8社は年間約2000万立米の超純水を使用しており、そのコストは2400万Ｓドルにのぼる。2025年にはウエハー・ファブ25社によりその3倍の量の超純水が用いられる見通しだ。
  1996年にＮＳＴＢから分離独立したＥＴＩのRaymond Brouzes重役(CEO)によれば、新技術を用いることにより超純水のコストを20～50％カットできる。コスト削減は生産技術の向上、節水／再利用によりもたらされる。加えて超純水の質も一段と向上する。ウエハー製造工程の複雑化に伴い、超純水の純度も益々ハイレベルなものが要求される。
  この日、ＥＴＩはシンガポール拠点のエンジニアリング会社Chemitreatと超純粋に関する共同研究覚書を交換した。共同研究は4つのプロジェクトから成り、今年3月から開始される。ChemitreatのGareth Thomas重役(MD)によると、共同研究の趣旨は超純粋に関わる既存技術を世界的なレベルに引き上げることにあると言う。(BT,ST:1/27)